扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)，简称扫描电镜,是一种分辨能力介于光学显微镜(OpticalMicroscope，OM)和透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope，TEM)之间的微观分析仪器。它利用高能聚集电子束扫描样品表面，通过电子束与样品之间的相互作用，激发出各种带有样品信息的信号，收集信号并放大和成像，以达到对样品表面微观形貌和元素成分进行表征的目的。
背散射电子（Back Scattered Electron, BSE）: 入射电子与样品原子的原子核相互作用并发生入射路径的改变，从而在样品表面射出，这一类电子叫背散射电子。背散射电子具有较高的能量，是扫描电镜成像的主要电子信号来源之一。
· 二次电子(Secondary Electron，SE）:二次电子是由入射电子激发样品表层原子的核外电子，并使其逃逸而产生的一种电子。这一类电子能量很低，通常需要在探测器前加上+10 kV高电压才能检测到。其中由入射电子束直接激发产生的二次电子形成的图像具有较高分辨率，是扫描电镜最基本的成像信号。
· 特征X射线与俄歇电子: 当样品原子的内层电子被激发，外层电子开始向内层跃迁，在跃迁过程中产生了特征X射线与俄歇电子。这两种信号的能量由原子核外各个电子壳层的能量差决定，因此二者均携带样品元素的特征信息(即化学信息)，是扫描电镜进行成分分析的主要信息来源。俄歌电子能量较低，往往只有样品表面几层原子产生的俄歇电子能够逃逸出样品表面，它反映了样品浅表层的信息。
· 韧致辐射X射线: 与特征X射线不同，韧致辐射射线的能量具有连续分布的特点，因此也叫连续X射线。它是由入射电子在行进过程中连续损失动能而产生的X射线。韧致辐射X射线构成了X射线能谱信号的背底信号。
· 阴极荧光: 电子束轰击氧化物或半导体材料后，导致其带隙或缺陷位置中的电子发生跃迁，从而辐射出紫外线、可见光或红外线(与LED发光原理类似)。
扫描电镜在基础科学研究、生产工艺控制、产品质量鉴定等方面得到十分广阔的应用，主要应用于国防、航天、生命科学、医学、生物学、地质勘探、病虫害的防治、灾害鉴定、刑事侦察等。
新能源、新材料：电池正负极材料，复合材料、高分子材料、纳米材料等；
半导体：器件表面、断面分析，半导体材料，封装焊点分析，硅片检查、电路分析等；
生物领域：海藻、硅藻等动植物、微生物；
冶金矿业：煤炭，石油、稀土、金属等；
建筑行业：混凝土、耐火砖、水泥粉末等；
化工行业：染料、四钼酸铵、碳酸锰凝聚颗粒等；
陶瓷行业：陶瓷晶粒、氧化锆、过滤陶瓷等陶瓷行业；
可在自然环境中出现的气压和类似湿度条件下使用X射线光电子谱仪，能在近常压条件下观察到原子级别的气液和液固界面的化学反应。
功能：基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性
最小束斑优于5nm；探针电流1pA~20nA；线宽优于15nm
应用场景：•科研教学 •微电子制造•原型器件开发•纳米材料制备•生物医疗研究
真空互联扫描电镜用于对样品车传递过来的产品进行自动检测，分析其表面晶粒形态大小分布等信息，评估其薄膜的膜质量情况。
真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测。
自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。
通过对扫描电镜的，电子枪，发射阴极、样品仓进行改造引入激光，并作用于样品表面对材料进行超快动力学研究。
光发射模式下时间分辨率优于1 ps，空间分辨率优于10 nm，原位变温分析范围覆盖100至1050 K。
