功能：基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性

最小束斑优于5nm；探针电流1pA~20nA；线宽优于15nm

应用场景：•科研教学 •微电子制造•原型器件开发•纳米材料制备•生物医疗研究

真空互联扫描电镜用于对样品车传递过来的产品进行自动检测，分析其表面晶粒形态大小分布等信息，评估其薄膜的膜质量情况。

真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测。

自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。

通过对扫描电镜的，电子枪，发射阴极、样品仓进行改造引入激光，并作用于样品表面对材料进行超快动力学研究。

光发射模式下时间分辨率优于1 ps，空间分辨率优于10 nm，原位变温分析范围覆盖100至1050 K。