图1 氧化铝陶瓷材料

      图2中的氧化铝陶瓷用作水处理滤膜材料。多孔氧化铝材料由于具有孔隙率高，透气阻力小，孔径可控，清洗再生方便以及耐高温、高压和较强的耐化学腐蚀等性能，适用于水处理等场所的过滤工作，如大规模的自来水提纯就可以使用多孔陶瓷，其过滤的效果除了与多孔陶瓷的材料有关外，还受材料颗粒的大小，外界压力等因素的影响。

图2 氧化铝陶瓷材料

使用扫描电镜可以非常清晰观察到陶瓷的截面和表面结构。图2 a是陶瓷的截面形貌，氧化铝涂层位于上方表面，分层明显且粒径很小，b&c分别为低倍和高倍下观察的陶瓷表面，宏观上涂层表面较为平整，放大可以看出晶粒大小相对均匀，形状结构相对圆滑，圆度较高，晶粒尺寸在百纳米内，缝隙均匀。

氧化铍BeO的离子型结构为闪锌矿结构，其中阴离子堆积方式为立方密堆，阳离子位置在1/2四面体间隙，Be和O的配位数为4：4。氧化铍是一种性能优异的高导热绝缘材料。以氧化铍为主要成分的陶瓷，主要用作大规模集成电路基板，耐火材料，晶体管的散热片外壳，微波输出窗和中子减速剂等材料。

不同于其他氧化物陶瓷，氧化铍导热和抗热震能力极强，与氧化铝相比，氧化铍导热率约高7倍，是一种难得的结构陶瓷材料。氧化铍陶瓷以氧化铍为原料加入氧化铝等配料经高温烧结而成，氧化铍陶瓷作为一种难熔材料可制作熔融稀有金属和贵金属的陶瓷坩埚，具备化学稳定性、热稳定性。同时，氧化铍陶瓷的高热导和低损耗特性是其他材料难以替代的，在航空、航天领域起着非常关键的作用。

图3&4为使用扫描电镜拍摄的不同倍数的片状氧化铍陶瓷表面形貌，该氧化铍陶瓷用作行波管、回旋管等产品的绝缘散热安装零件和微波输出窗片，是真空器件不可或缺的基础材料。氧化铍基片在低倍下整体呈分布相对均匀的气孔结构（约为5%），高倍下观察是明显的片状层结构，形状多为方形，结构均匀，晶型发育较为完整。其中，陶瓷性能和气孔率有直接关系，气孔会使陶瓷的机械强度降低，热学性能、电学性能转劣、气密性变差等，使用扫描电镜可以清晰地观察到氧化铍陶瓷的气孔形貌，为工业材料的检测提供强有力的支撑。

图3 EM6­­­900LV拍摄的氧化铍陶瓷表面

图4 EM8000拍摄的氧化铍陶瓷表面

陶瓷固体的样品制备相对简洁，但需要注意的是，样品的待观察表面需要要要较为平整，且在观察时如果没有特殊需求，样品表面需要尽量保持水平，从而避免由于表面高度差过大导致景深不足。